油擴散泵的類別

在我國，已把擴散泵納入國家標準系列生產(chǎn)，使用已非常廣泛。

現(xiàn)有擴散泵可以分為不同的類別:

1.按工作液可分為油擴散泵和汞擴散泵。

2.按結(jié)構(gòu)材料可分為金屬擴散泵和玻璃擴散泵。金屬擴散泵可以做得很大(抽速可做到每秒幾十萬升)，玻璃擴散泵只能做成每秒幾百升的，但它的突出優(yōu)點也不可忽視。

3.按型式、結(jié)構(gòu)可分為立式、臥式，單級、多級。

目前使用最多的是金屬或玻璃立式四級油擴散泵。汞擴散泵也逐漸又為人們所重視。

擴散泵的主要結(jié)構(gòu)部件有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣流導(dǎo)管和加熱器等。

擴散泵的簡單工作原理是利用高速蒸氣流的作用，在被抽容器和擴散泵之間建立起被抽氣體的分壓強差，這樣被抽氣體分子便不斷擴散到高速定向蒸氣流中，再被壓縮到前級空間，最后為前級泵所抽走。

擴散泵必須在一定的預(yù)真空下(10-2~10-3托)才能工作。當(dāng)前級機械泵使擴散泵達到預(yù)真空后，即可用電爐將泵內(nèi)工作液加熱到沸騰，它產(chǎn)生的大量蒸氣通過泵芯導(dǎo)流管分送到各級噴嘴，蒸氣在噴嘴帽處改變方向，從噴口噴出后，即形成速度很高的定向密集的蒸氣流。

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