真空泵的抽氣原理

自從真空技術(shù)發(fā)展到這樣寬的壓強范圍以來，人們還沒有研制出一種能把一個容器從大氣抽至高真空或超高真空范圍的泵。

雖然所有的真空泵都是用來減少氣相分子數(shù)，但是用來獲得低壓強的各類泵卻涉及了幾種不同的原理。真空抽氣則是以下述一個或幾個原理為根據(jù)的。

氣體的壓縮和膨脹，運用于活塞泵、液柱泵或水環(huán)真空泵、旋片真空泵、羅茨真空泵中。

由粘滯效應(yīng)產(chǎn)生的曳力，運用子蒸汽噴射泵中。

由擴散效應(yīng)產(chǎn)生的曳力，運用于蒸汽擴散泵中。

分子曳力，運用于分子泵中。

電離效應(yīng)，運用于離子泵中。

物理或化學(xué)吸著，運用于吸附泵、低溫泵及吸氣過程。

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