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決定真空系統(tǒng)性能的因素

 

決定真空系統(tǒng)性能的因素

一、工作真空度

正確地了解與確定一個(gè)設(shè)備所要求的真空度是很重要的,它接接影響到真空系統(tǒng)的結(jié)鉤選擇和對(duì)設(shè)備維修的要求。真空系統(tǒng)一定要能夠滿足作業(yè)所要求的真空度。只要系統(tǒng)具有足夠的氣密性,內(nèi)部又沒有經(jīng)常放出氣體或蒸氣的氣源,則這一要求是可以滿足的。當(dāng)然也并不是真空度愈高愈好。否則會(huì)使設(shè)備外形過分臃腫,成本增加。

二、殘余氣休成分

某些真空作業(yè),不但要求一定的真空度,而且還要求特定的殘余氣體成分,如超高真空范圍作業(yè),常要求無(wú)碳?xì)浠衔镂廴,即系統(tǒng)要潔凈無(wú)油才好。但也不應(yīng)盡搞“全無(wú)油”,要從經(jīng)濟(jì)方面考慮。往往用現(xiàn)有系統(tǒng)加以改造,就可以又快又省地滿足作業(yè)的要求了。

三、工作壓強(qiáng)下的有效抽速

這要根據(jù)氣體負(fù)荷確定。系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、材料選擇、清潔處理和操作維護(hù)等都會(huì)大大影響氣體負(fù)荷。第一章已介紹了一些決定導(dǎo)管通導(dǎo)能力和對(duì)容器有效抽速的核算方法。假定系統(tǒng)通導(dǎo)能力符合要求,那么要注意作業(yè)工、卡具和材料的預(yù)除氣,以及嚴(yán)格的清潔處理,要盡可能降低氣體負(fù)荷。并據(jù)此決定前、級(jí)泵人小,仔細(xì)核算通導(dǎo)能力。若氣體負(fù)荷過大,則要考慮是否加增壓泵。有效抽速與泵抽速之比要根據(jù)泵的結(jié)構(gòu)綜合考慮,一般機(jī)械泵在95%,擴(kuò)散泵在30%-70%。

四、氣體負(fù)荷成分及負(fù)荷變化

負(fù)荷成分不同,系統(tǒng)結(jié)構(gòu)選擇和泵的選擇肯定不同。粗低真空范圍內(nèi),若含有腐蝕性的氣體,有顆粒、泥沙、塵埃的氣體就不宜用機(jī)械泵和羅茨泵,應(yīng)該用水環(huán)泵和噴射泵。用分子泵抽氣考慮到氧氣存在,應(yīng)當(dāng)并聯(lián)欽升華泵,這樣才能使真空度提高,并達(dá)到超高真空范圍。

五、日循環(huán)數(shù)

每日進(jìn)行裝料-抽氣-作業(yè)-放氣-卸料的循環(huán)次數(shù),叫日循環(huán)數(shù)。這也是設(shè)計(jì)、改造系統(tǒng)結(jié)構(gòu),選擇、核算抽速所必須考慮的因素。必要時(shí),泵用多室的結(jié)構(gòu)為好。例如圓排車上就常用十室泵作前級(jí)泵。
 

 
 


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