油擴(kuò)散泵概述

擴(kuò)散泵全名叫擴(kuò)散式蒸氣流泵，是蒸氣流泵之一種。產(chǎn)生蒸氣流的泵液種類雖很多，但絕大多數(shù)是低飽和蒸氣壓的油類。以擴(kuò)散泵油作工作液的稱油擴(kuò)散泵，以汞作擴(kuò)散泵液的則稱汞擴(kuò)散泵，油擴(kuò)散泵最為常用,擴(kuò)散泵需保證前級在10-2~10-3托的預(yù)真空條件下才能很好工作。通常用機(jī)械泵作前級泵。普通擴(kuò)散泵可獲得10-4~10-9托的極限壓強(qiáng)，如果采用冷凍擋板或液氮冷阱，并對容器進(jìn)行烘烤去氣，則可獲得10-8到10-11托的超高真空，如果泵設(shè)計(jì)得很好，再加上去除油蒸氣返流和永久氣體污染源等嚴(yán)格措施，那么獲得10-14托以上的極高真空也是可以達(dá)得到的。

擴(kuò)散泵的主要優(yōu)點(diǎn)是:抽氣能力大，抽速范圍寬(目前生產(chǎn)的泵抽速從幾升/秒到十萬升/秒)，對各種氣體包括惰性氣體(如氖、氦等)有相同的抽速，這是任何其他泵種所無法比擬的;此外與其他高真空或超高真空獲得設(shè)備相比，單位抽速所需成本較低(不象深冷泵等需極昂貴的冷凝劑)，結(jié)構(gòu)簡單，沒有機(jī)械轉(zhuǎn)動，操作方便且能反復(fù)循環(huán)使用，便于維護(hù)，使用壽命長，很易獲得高真空，因而，擴(kuò)散泵自六十五年前發(fā)明以來，特別是近三十年，已被廣泛用于電子、冶金、化學(xué)、原子能等工業(yè)部門和空間技術(shù)等科學(xué)研究領(lǐng)域中。

 

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