常用真空系統(tǒng)在真空電子器件中的運(yùn)用

        真空電子器件生產(chǎn)中應(yīng)用的真空系統(tǒng)種類繁多。這里將根據(jù)真空系統(tǒng)的工作壓強(qiáng)范圍，介紹一些典型結(jié)構(gòu)的常用的真空系統(tǒng)。

        中、低真空系統(tǒng)是能獲得10-3托以下真空度的系統(tǒng)，以旋片泵或吸附泵等為主泵，配以真空閥門、捕集器及管道等連接而成。這樣組成的系統(tǒng)抽速一般較小，如要提高抽速可選用滑閥真空泵或羅茨泵機(jī)組。中、低真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、排氣量大，主要用在各類電子管的預(yù)排，白熾燈與熒光燈的排氣，真空儲存柜和離子戮射鍍膜機(jī)等裝置中。

        中、低真空系統(tǒng)的真空度可用火花檢測器或放電管指示器來估計，也可用熱傳導(dǎo)真空計來測量。為了提高系統(tǒng)的工作真空度，減少旋片泵油蒸氣和系統(tǒng)中水蒸氣對真空系統(tǒng)的影響，在三通玻璃活塞上，側(cè)接一只外冷式液氮冷阱。帶液氮冷阱的真空系統(tǒng)工作真空度可以達(dá)到10-3托左右。若該系統(tǒng)要反復(fù)暴露大氣，采用活性氧化鋁擋油阱同樣能達(dá)到上述目的，不過活性氧化鋁要定期激活。

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