無油超高真空閥

常用的是金屬結(jié)構(gòu);低蒸氣壓的液態(tài)金屬閥門(多為玻璃制做)也仍然受到重視。對小口徑閥門(小于25毫米)，漏導(dǎo)已可小到10-14升/秒。

目前文獻(xiàn)登載的各式超高真空閥門已超過五十種。但按其原理歸納起來，大約可認(rèn)作五種類型：

1.將軟金屬墊片壓在硬金屬的刀邊上；

2.將軟金屬錐壓入硬金屬孔內(nèi)；

3一層軟金屬膜片或一個環(huán)狀帽壓在兩個硬表面之間；

4.將硬金屬端壓入軟金屬孔內(nèi)或者把軟金屬壓于硬金屬面任意變形壓緊；

5.兩個硬面互相壓緊。

所說的硬金屬多為不銹鋼，也有用鎢鉻鈷合金、碳化鎢和藍(lán)寶石等做的。軟金屬多是無氧銅、純銀、純金，也有用鑰、錫、白金和鋁等。

這五種密封中只一種是用手動密封(漏導(dǎo)10-14升/秒)，其他則要很大的壓力才能保證密封。第五種密封所需壓力最大，但它的抗腐蝕性能也最好。第二種加壓力1噸/厘米2時，閥門密封漏導(dǎo)為10-11升/秒。第三種則在加壓達(dá)11噸/厘米2時，密封漏導(dǎo)才是10-14升/秒。

因金屬無油超高真空閥門種類很多，具體結(jié)構(gòu)就不細(xì)舉了。它們共同的缺點是使用次數(shù)多了密封處會損壞，使漏導(dǎo)增加，加工和裝配也需十分精細(xì)，造價很高。所以玻璃制的液態(tài)金屬超高真空閥門至今仍為人們所重視，因為它除了能克服金屬閥那幾個缺點外，主要還是自己能制做，結(jié)構(gòu)簡單。而且用這種閥門的原理也能制造大型金屬超高真空閥門，例如，利用450 ℃下的蒸氣壓為10-13托的純錫就可做成這種閥門。錫的熔點是232℃，只要加溫，用旋轉(zhuǎn)螺旋的方法升降閥帽，其通導(dǎo)能力有600升/秒(這點可因設(shè)計而異，可大可小)。
 

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