高真空抽氣機(jī)組

高真空機(jī)組工作于分子流狀態(tài)下，與低真空機(jī)組相比，其特點(diǎn)是工作壓力較低(10-2~10-6pa)、排氣最小、抽速大。機(jī)組的主泵通常為擴(kuò)散泵、擴(kuò)散增壓泵、分子泵、鈦升華泵、低溫冷凝泵等.這些泵不能直接對(duì)大氣工作，因此需要配置預(yù)抽泵和前級(jí)泵、有些擴(kuò)散泵高真空抽氣機(jī)組還配有前級(jí)維持泵或貯氣雄，以防止氣壓波動(dòng)，改善機(jī)組性能。

(1)預(yù)抽泵。預(yù)抽泵(粗抽泵)主要用來(lái)抽除真空室中的大量氣體，使真空室內(nèi)的氣體壓力由大氣壓力降到主泵能夠啟動(dòng)工作時(shí)的真空度，因此，要求預(yù)抽泵所達(dá)到的壓力小于主泵的啟動(dòng)工作壓力，機(jī)組所選用預(yù)抽泵的抽速大小由粗抽時(shí)間決定.為了提高真空機(jī)組的利用率，預(yù)抽泵可以兼做前級(jí)泵用。兩種不同抽氣功能之間靠真空閥門來(lái)分隔和切換。

(2)維持泵。由于擴(kuò)散泵和油增壓泵啟動(dòng)時(shí)間長(zhǎng)，在周期性操作的真空設(shè)備中，當(dāng)真空室裝料和卸料的時(shí)候，往往為了縮短工作周期而不停止主泵，將高真空閥門和前級(jí)管道閥門關(guān)閉，使主泵仍處于工作狀態(tài)。由于閥門等總是有極少量的漏氣和表面放氣，經(jīng)過(guò)一定時(shí)間主泵泵腔內(nèi)的壓強(qiáng)增加，超過(guò)泵工作掖的最大允許壓強(qiáng)而使泵油蒸氣氧化。為了解決這個(gè)問(wèn)題，一個(gè)辦法是用前級(jí)泵繼續(xù)抽出主泵中的氣體，但此時(shí)主泵內(nèi)排出的氣體量很小，出現(xiàn)前級(jí)泵大馬拉小車，浪費(fèi)能源。為此可采用另一個(gè)辦法，停止前級(jí)泵工作，關(guān)閉前級(jí)管道閥門，在主泵出口處設(shè)置維持泵或儲(chǔ)氣鑲，這樣就可以保證既能排出主泵內(nèi)的氣體.又可以節(jié)省能源消耗。儲(chǔ)氣罐不能做得別很大，它只能用在以擴(kuò)散泵為主泵的小型真空機(jī)組上.而維持泵可用在配置大型主泵的真空機(jī)組中。

(3)貯氣罐。小型擴(kuò)散泵高真空抽氣機(jī)組通常配置有貯氣罐，設(shè)置在擴(kuò)散泵和前級(jí)泵之間，貯存擴(kuò)散泵排出的氣體，設(shè)置貯氣罐的原因有:

1)系統(tǒng)防振的需要。真空系統(tǒng)工作時(shí)，某些工藝過(guò)程要求嚴(yán)格防振，因此需要在真空室處在工作狀態(tài)時(shí)，要使前級(jí)機(jī)械泵在一段時(shí)間內(nèi)停止工作.在這段時(shí)間內(nèi)，擴(kuò)散泵排出的氣體全都貯存在貯氣罐中，用貯氣峨代替機(jī)械泵維持?jǐn)U散泵正常工作。

2)為了縮短工作周期。有些生產(chǎn)工藝要求在不關(guān)閉擴(kuò)散泵加熱器的情況下，真空室放進(jìn)大氣換取工件、裝料.而真空機(jī)組的前級(jí)泵兼做預(yù)抽泵用.裝料后，用機(jī)械泵頂抽真空室，在這段時(shí)間內(nèi)利用貯氣罐來(lái)維持?jǐn)U散泵工作(作為前級(jí)泵用)。

3)為防止真空室內(nèi)瞬時(shí)大量放氣影響擴(kuò)散泵正常工作。真空工藝生產(chǎn)中的某段時(shí)間內(nèi)放氣量特別大，但時(shí)間短。若按此時(shí)的最大排氣量配前級(jí)機(jī)械泵很不經(jīng)濟(jì)，此時(shí)可在系統(tǒng)中配置前級(jí)貯氣雄，在最大放氣量時(shí)貯存一部分氣體，以避免擴(kuò)散泵的前級(jí)壓力超過(guò)最大反壓力。

4)用于穩(wěn)定擴(kuò)散泵出口壓力。由于機(jī)械泵排氣是脈動(dòng)的，雖然頻率不高，但是也會(huì)引起擴(kuò)散泵出口壓力的波動(dòng)，設(shè)置貯氣罐可減少這種波動(dòng)。
 

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