真空系統(tǒng)的種類及工作狀態(tài)
真空系統(tǒng)的種類及工作狀態(tài)
真空系統(tǒng)廣泛用于各種不同的工藝過程,其種類十分繁多。按真空系統(tǒng)抽氣過程的狀態(tài)來分,有兩大基本類型,即開式真空系統(tǒng)和閉式循環(huán)系統(tǒng)。
開式真空系統(tǒng)中有氣體流動(dòng)、各處壓力不等,系統(tǒng)中各截面之間有壓力差,最后一級(jí)真空泵將被抽氣體排到大氣中去。閉式真空系統(tǒng)的抽氣設(shè)備與被抽容器是封閉在一起的,剛開始抽氣時(shí)系統(tǒng)內(nèi)也有壓力差,有氣體流動(dòng),但達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí).系統(tǒng)內(nèi)各處的壓力幾乎相等,其主要特點(diǎn)是沒有氣體從系統(tǒng)中排出到系統(tǒng)外的大氣中去。
按真空系統(tǒng)的工作壓強(qiáng)分,有粗真空系統(tǒng)、低真空系統(tǒng)、高真空系統(tǒng)、超高真空系統(tǒng)、極高真空系統(tǒng)。
按真空系統(tǒng)的清潔程度分:有油真空系統(tǒng)、無油真空系統(tǒng)。
按被抽系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)材料分:玻璃真空系統(tǒng)、金屬真空系統(tǒng)。
由于人們的習(xí)慣.在實(shí)際應(yīng)用中也經(jīng)常把上述不同的分類加以綜合,諸如“大型動(dòng)態(tài)金屬高真空系統(tǒng)”、“無油超高真空系統(tǒng)”、“玻璃高真空系統(tǒng)”等.
可見,上述分類方法不是嚴(yán)格不變的,往往結(jié)合真空系統(tǒng)的特點(diǎn)給以恰如其分的稱呼,可能更適用些。
把真空系統(tǒng)加以分類的目的,在于找出同類真空系統(tǒng)的特殊性,用以指導(dǎo)各種真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、制造、裝配和使用。
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