羅茨真空泵極限真空和抽氣速率的測(cè)試
羅茨真空泵極限真空和抽氣速率的測(cè)試
1.極限真空的測(cè)試:測(cè)試極限真空,是泵在不連接容器的情況下,按規(guī)定的條件運(yùn)轉(zhuǎn),待泵的溫升達(dá)到穩(wěn)定時(shí),從泵的進(jìn)口附近以真空計(jì)測(cè)出其穩(wěn)定的最低壓強(qiáng)。
測(cè)量極限真空采用的真空計(jì),對(duì)于羅茨真空泵,按規(guī)定采用座式壓縮式真空計(jì),且應(yīng)準(zhǔn)確讀出一位有效數(shù)字來(lái)表示。這種真空計(jì)必須經(jīng)具有±10%以上精度的壓縮式真空計(jì)校準(zhǔn)。對(duì)于作為粗真空使用的直排大氣的羅茨真空泵,可采用管徑相等的開(kāi)口或閉口U型水銀真空計(jì),也可采用精度為±1mm單管水銀壓力表,不管使用哪種真空計(jì),都應(yīng)盡量靠近泵的吸氣口測(cè)量,連接用的真空橡膠管應(yīng)盡可能短,以盡量減少誤差。
2.抽氣速率的測(cè)試:羅茨真空泵的抽氣速率測(cè)試,因其用途不同而采用不同的測(cè)試方法和儀器。按照部標(biāo)規(guī)定,氣體流量小于5OTorr·L/s時(shí),應(yīng)采用低飽和蒸氣壓液體滴定管流址計(jì),氣體流量大于50Torr·L/s時(shí),應(yīng)采用浮子流量計(jì)。 http://www.bttyby/
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